Una superficie piana del campione, dopo smerigliatura, è posizionata sull’apposito stativo, dove il campione stesso va a costituire l’anodo di un circuito.

Una rapida serie di microscariche elettriche ad alta energia (scintillazione) sono prodotte tra l’elettrodo (il catodo) e la superficie del campione (che funge da anodo) in un ambiente mantenuto inerte tramite il flussaggio con argon.

Le scariche costituiscono la sorgente di eccitazione, in quanto localmente provocano, nell’ordine, la fusione del metallo, la sua vaporizzazione e quindi l’eccitazione degli elementi costituenti.

Gli atomi non permangono nei loro stati eccitati (instabili) e ritornano alle condizioni originarie (energeticamente stabili) attraverso l’emissione di radiazioni, ciascuna caratterizzata da:

• una lunghezze d’onda caratteristica dell’elemento emittente;
• una intensità proporzionale alla concentrazione dell’elemento emittente.

Le radiazioni vengono diffratte da appositi sistemi ottici (cioè le diverse lunghezze d’onda sono separate e avviate su diversi cammini ottici) e quindi arrivano ad impattare su un rivelatore.

A questo punto ogni lunghezza d’onda viene identifica e quindi quantificata per confronto con curve di taratura, già realizzate mediante l’analisi di materiali di riferimento certificati.